Modeling the nucleation kinetics and aerosol dynamics of particle formation during CVD of silicon from silane

M.T. Swihart، نويسنده , , S. Nijhawan، نويسنده , , M.R. Mahajan، نويسنده , , S.-M. Suh، نويسنده , , S.L. Girshick، نويسنده ,

ماهنامه با شماره پیاپی سال 1998

2

79

80

Silane , chemical kinetics , Silicon CVD , Nucleation

Journal of Aerosol Science

1998

Journal of Aerosol Science

741349