Title of article :
Application of particle beam mass spectrometry to aerosol formation and transport in silane LPCVD
Author/Authors :
S. Nijhawan، نويسنده , , N.P. Rao، نويسنده , , P.H. McMurry ، نويسنده , , S.A. Campbell ، نويسنده , , J.E. Brockmann، نويسنده ,
Issue Information :
ماهنامه با شماره پیاپی سال 1998
Keywords :
Thermophoresis , Silicon , contamination control , Semiconductor processing , chemical vapor deposition
Journal title :
Journal of Aerosol Science
Journal title :
Journal of Aerosol Science
