Title of article
Properties of Ta–Mo alloy gate electrode for n-MOSFET
Author/Authors
CHUNG KEUN LEE?، نويسنده , , Jae Young Kim، نويسنده , , SHIN NAM HONG، نويسنده , , HUICAI ZHONG، نويسنده , , Xiao-Bei Chen، نويسنده , , Veena Misra، نويسنده ,
Issue Information
دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
3
From page
2693
To page
2695
Journal title
Journal of Materials Science
Serial Year
2005
Journal title
Journal of Materials Science
Record number
829859
Link To Document