Title of article :
Photoresist ashing technology using N2/O2 ferrite-core ICP in the dual damascene process
Author/Authors :
HYOUN WOO KIM، نويسنده , , JU HYUN MYUNG، نويسنده , , Jong Woo Lee، نويسنده , , Hyung-Sun Kim، نويسنده , , Keeho Kim، نويسنده , , Jeong-Yeol Jang، نويسنده , , Tae-Ho Yoon، نويسنده , , SUNG KYEONG KIM، نويسنده , , Dae-Kyu Choi، نويسنده , , CHIN-WOOK CHUNG، نويسنده , , Geun Young Yeom، نويسنده , , Jae-Min Myoung، نويسنده , , Hyoung-June Kim، نويسنده ,
Issue Information :
دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2006
Pages :
3
From page :
5040
To page :
5042
Journal title :
Journal of Materials Science
Serial Year :
2006
Journal title :
Journal of Materials Science
Record number :
831136
Link To Document :
بازگشت