مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer

Title of article :

Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer

Author/Authors :

Dan O. Macodiyo، نويسنده , , Hitoshi Soyama، نويسنده , , Takashi Masakawa، نويسنده , , Kazuo Hayashi، نويسنده ,

Issue Information :

دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2006

Pages :

From page :

5380

To page :

5382

Journal title :

Journal of Materials Science

Serial Year :

2006

Journal title :

Journal of Materials Science

Record number :

831185

Link To Document :