عنوان :
شبيه سازي فرايند اكسيداسيون 7*7 Si)III(: به روش مونت كارلو
پديدآورندگان :
سعيديان شاهپور نويسنده , ايرجي زاده اعظم نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
كليدواژه زبان طبيعي :
شبيه سازي , روش مونت كارلو , اكسايش , سيليسيم , بخش فيزيك
چكيده :
هدف از پروژه حاضر شبيه سازي فرايند اكسيداسيون سطح 7*7 Si)III(: با استفاده از روش مونت كارلو است . مدل بكار رفته شامل فرايندهاي جذب فيزيكي ، جذب شيميايي ، پخش سطحي و نيز دفع سطحي SiO است . منحني هاي پوشيدگي سطح برحسب ميزان اكسيژن دهي ، در دماهاي پايين يك روند سريع و به دنبال آن يك روند كند را تا رسيدن به حد اشباع نشان مي دهند. ...
