عنوان :
بررسي تجربي آهنگ اليه‌نشاني براي دو هدف مختلف مس و آلومينيوم در فشارهاي مختلف و درصدهاي مختلف تركيب آرگون در يك پالسماي نيون و توجيه نظري برحسب نظريه كندوپاش
پديدآورندگان :
سبحانيان صمد نويسنده , خاكسار مريم‌سادات نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
كندوپاش مگنتروني , تخليه نوراني , افت كاتدي , لايه نشاني يا نهشت
چكيده :
... در اين كار تجربي فلزات Al , CU به صورت فيلم نازك با استفاده از كندوپاش مگنتروني به روي بستر شيشه‌اي نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فشار و درصدهاي مختلف تركيب گازآرگون در يك پالسماي نيون براي دو حالت مختلف با مانع تغذيه DC و RF به طور جداگانه بررسي شده است. مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان مي‌دهد. كه آهنگ نهشت با افزايش درصد آرگون افزايش مي‌يابد. همچنين در فشارهاي باالتر آهنگ نهشت به دليل پراكندگي اتم‌هاي كندوپاشي با مولكول‌هاي گاز باقيمانده كاهش مي‌يابد همچنين مقايسه نتايج تجربي با نتايج نظري براساس تيوري سيگموند نشان مي‌دهد كه اين دو نتيجه با هم تطابق دارند. در ارتباط با تاثير تغييرات فشار برآهنگ اليه نشاني نيز انطباق نتايج تجربي و نظري مشاهده مي‌شود...
