عنوان :
طراحي و ساخت دستگاه كند و پاش (و بررسي فيزيكي نمونه هاي ساخته شده )
پديدآورندگان :
فرشچي مهدي نويسنده , دكتر سيدمحمد الهي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه رازي
كليدواژه زبان طبيعي :
دستگاه كند و پاش , فيزيك ماده چگالي , بخش فيزيكي
چكيده :
نظر به آمار فعاليت ها و تحقيقات انجام شده در حوزه فيزيك ماده چگالي (لايه هاي نازك و پلاسما) نياز به سيستمي بود كه بتواند در اين مورد كاربرد داشته باشد، بر اين اساس سيستم (دستگاه ) مورر نظر در گروه فيزيك دانشگاه رازي - در قالب پروژه كارشناسي ارشد طراحي و ساخته شد. قابليت هاي اين سيستم شايد در نوع خود كم نظير باشد. از كاربردهاي اوليه و اساسي اين دستگاه تهيه انواع لايه هاي نازك از فلزات با ضخامت مورد نياز و با دقت فوق العاده در اتمسفر قابل كنترل به روش كند و پاش ميباشد. از ديگر توانايي هاي اين سيستم تهيه پلاسما از گازهاي مختلف و شناسايي و اندازه گيري خواص مورد نظر آن در شرايط مختلف مي باشد. در ضمن اين سيستم را ميتوان با اندكي تجهيز و با تغيير به سيستم كند و پاش R.F و يا مگنترون و يا به يك سيستم تبخير در خلاء تبديل نمود. با توجه به نتايج حاصل از آزمايشات گوناگون بر روي نمونه هاي ساخته شده توسط اين دستگاه كه در عكس ها، اسلايدها، نمودار و طيف ها بخوبي مشخص مي باشد ميتوان اين اميد را داشت كه در آينده بتوان از توانايي هاي اين دستگاه در حيطه فيزيك لايه هاي نازك و فيزيك پلاسما استفاده نمود.
يادداشت :
كتابخانه منطقه اي علوم و تكنولوژي
