عنوان :
اثر دماي زير لايه بر خواص فيزيكي اكسيد قلع
پديدآورندگان :
حبيبي مجيد نويسنده , ردضاتي محمد نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه گيلان
كليدواژه زبان طبيعي :
خواص فيزيكي اكسيد قلع , دماي زير لايه , فيزيك , فيلم هاي نازك
چكيده :
در كار حاضر فيلمهاي نازك غيرآلاييده اكسيد قلع برروي زير لايه شيشه اي سودالايم در دماهاي مختلف زير لايه با ثابت نگهداشتن تمام پارامترهاي ديگر فرآيند (مانند آهنگ جريان هوا، فاصله بين زير لايه و نازل ، ميزان محلول و ...) تهيه شدند. براي تهيه فيلمهاي نازك از روش اسپري پايزوليزز استفاده شد. خواص الكترونيكي نوري و ساختاري اين فيلمها به كمك پراش سنج اشعه ايكس و طيف سنج نور مطالعه گرديد. اندازه گيري ها در دماي اتاق نشان داد كه اين فيلمها داراي كمترين مقاومت ويژه ... 8/13 ضربدر 10 به توان 3 و بيشترين شفافيت نوري 94+در ناحيه مريي هستند. الگوهاي پراش اشعه ايكس نشان داد كه فيلمهاي انباشت شده در دماي 005 سانتيگراد درجه زير لايه جهت ترجيحي 200 را دارا هستند. جهات غالب مشاهده شده در دماي 300 سانتيگراد درجه و 400 سانتيگراد زير لايه به ترتيب 101 تا 110 هستند.