عنوان :
روش ايجاد رتيكول دوربينهاي فاصله ياب ، بررسي و بهينه عوامل موثر بر كيفيت آن و ساخت دستگاه جهت توليد انبوه
پديدآورندگان :
حاج محمدي محمدرضا نويسنده , سينايي اصفهاني عليرضا نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه مازندران ، دانشكده مركز تحقيقاتي و آموزشي شيمي
كليدواژه زبان طبيعي :
رتيكول , آلودگي , فتورزيستها , بهينه سازي , توليد , بخش شيمي تجزيه , دوربينهاي فاصله ياب
چكيده :
هدف از اين پروژه بدست آوردن روشي مناسب براي ايجاد رتيكول (شبكه دوربينهاي فاصله ياب ) و ساختن دستگاهي براي توليد انبوه آن بوده است . جهت ايجاد رتيكول با كيفيت مناسب عواملي نظير جنس فلز پوشش دهنده سطح بستره ، روش ايجاد لايه فلزي ، نوع فتورزيست (پليمر حساس به نور)، روش پوشش دهي فتورزيست ، آلودگيهاي سطح بستره +حلال باقيمانده در فتورزيست ، سرعت چرخش بستره ، درجه حرارت ، طول موج نور، شدت و زمان نوردهي ، نوع و غلظت ، ماده ظهور و حكاكي بررسي و بهينه شده اند. ...
