عنوان :
شبيه سازي كاشت يون در قطعات نيمه هادي چند لايه
پديدآورندگان :
خوشنويسان بهرام نويسنده , مولوكاخكي محمد نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه فردوسي مشهد دانشكده علوم
كليدواژه زبان طبيعي :
كاشت (فيزيك ) }implantation{ , شبيه سازي كامپيوتري , يون }Ion{ , قطعات نيمه هادي , گشتاور , برهم كنش }Interaction{ , برنامه هاي كامپيوتري , بخش فيزيك
چكيده :
هدف از اين پروژه تشريح و توضيح روشهاي مختلف كاشت يون ، با تاكيد برروش محاسباتي گام به گام (براي قطعات نميه هادي چند لايه اي ) و تهيه يك برنامه ، كامپيوتري براي محاسبه توزيع عمق نفوذ، براساس روش گام به گام و مقايسه آن با نتايج LSS مي باشد. روش محاسباتي مذكور براساس مدل تيوريك ارايه شده توسط D.Ashworth و م - مولوي بوده و قابليت استفاده از سطوح مقطع ديفرانسيلي برخورد توماس - فرمي و يا ويلسون بطور يكسان در محاسبات وجود دارد. در خاتمه پيشنهاداتي نيز به منظور گسترش شيوه حاضر به زمينه هاي تحقيقاتي ديگر، عرضه خواهد شد.
