عنوان :
مطالعه مكانيزم جداسازي اسيدهاي ضعيف در سل هاي اسمز معكوس
پديدآورندگان :
طاهرزاده محمدجعفر نويسنده , سلطانيه محمد نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه صنعتي شريف دانشكده مهندسي شيمي
كليدواژه زبان طبيعي :
اسيداستيك , اسيد فسفريك , اسيدهاي ضعيف , بخش مهندسي شيمي , سل هاي اسمز , اسيد فلويوريدريك
دامنه موضوعي :
فني و مهندسي
چكيده :
در صنايع ميكروالكترونيك ، مقدار قابل توجهي اسيد، براي عمليات Etching چه به صورت خالص و چه به صورت مخلوط به كار مي روند. برحسب كاربرد، اين اسيدها شامل اسيد فلويوريدريك ، اسيد استيك ، اسيد فسفريك و ... مي باشند. در ميان اين اسيدها، اسيد فلويوريدريك )HF( بيشترين مصرف را دارد، زيرا در توليد نيمه هاديهاي سيليكوني به كار مي رود. اين اسيد هم از لحاظ قيمت و ميزان مصرف و هم از لحاظ آلودگي محيط زيست مسايل زيادي دارد كه مصرف مجدد و عدم دفع آن را ضروري مي نمايد. ...
