عنوان :
بررسي خصوصيات فيزيكي لايه هاي نازك توليد شده به روشهاي مختلف لايه نشاني
پديدآورندگان :
مرادي محمود نويسنده , اخلاقي مهدي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه شيراز
كليدواژه زبان طبيعي :
خصوصيات فيزيكي لايه هاي نازك روشهاي مختلف لايه نشاني پراش پرتو فيزيك اتمي فيزيك رده علوم پايه
چكيده :
در اين پايان نامه سعي شده است تا ضمن آشنايي با مباني نظري و عملي لايه نشاني همچون تكنيك خلاء، فرايندهاي تميزكاري زيرلايه ها، فرايند لايه نشاني و انواع مختلف آن حتي الامكان و با استفاده از امكانات موجود چندلايه نشاني نيز انجام دهيم . همچنين در اين رساله دستگاه لايه نشاني چندمنظوره ي موجود در بخش فيزيك دانشگاه شيراز معرفي شده و مزيتهاي آن بيان مي شود. با تحليل داده هاي بدست آمده از چند قطعه ي تك لايه ي آلمينيومي كه با ضخامتهاي مختلف تهيه شده اند، ضخامت لايه ها را با روشهاي مختلف بدست آورده و با هم مقايسه مي كنيم . روشهاي مختلف ضخامت سنجي در مورد آنها با هم مقايسه شده است . در ادامه ضمن بررسي فرايند رشد لايه ها تاثير ضخامت بر برخي از خواص اپتيكي لايه ها همچون بازتاب ، عبور و جذب مورد نظر قرار مي گيرد. آنگاه نتايج نمودارها با محاسبات انجام شده مقايسه شده و تشابه آنها تحليل مي گردد. در فرايند رشد لايه ها از داده هاي آزمايشگاهي كه توسط ميكروسكوپ الكتروني روبشي و دستگاه پراش پرتو X تهيه شده نيز بهره گرفته شده است .
