عنوان :
اندازه گيري آهنگ لايه نشاني در فيلمهاي نازك مس تهيه شده به روش كندوپاش پلاسمايي
پديدآورندگان :
رحمتي علي نويسنده , بيدادي ، حسن فپرهيزكار، مجتبي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
كندوپاش مگنتروني لايه نشاني يا نهشت آهنگ لايه نشاني يا نهشت مس فيزيك رده علوم پايه
چكيده :
امروزه تكنولوژي لايه هاي نازك به موضوعي گسترده تبديل شده كه محققان زيادي را مجذوب خود كرده است . گستره وسيعي از مواد مختلف مانند عايق ، رسانا، نيمه رسانا، ابررسانا و... به صورت لايه هاي نازك تهيه شده اند به گونه اي كه حساسترين قسمتها در قطعات الكترونيكي ، الكترواپتيكي ، سنسورها و... به شكل لايه هاي نازك هستند. از سوي ديگر موادي به شكل لايه نازك وجود دارند كه داراي خواص محافظتي هستند و از آنها مي توان در جهت ممانعت از خوردگي ، فرسايش و ساير موارد مخرب استفاده كرد. در زمينه نانوتكنولوژي ، در قلمرو حالت جامد، چاهها، سيمها و نقطه هاي كوانتومي را مي توان با تكنيكهاي لايه نشاني خاص نهشت نمود. از اين رو هدف عمده گروهها بايستي اين باشد كه بهترين شرايط مساعد را براي يك نهشت فيلم مرغوب و عاري از هرگونه تنش و آلودگي در عين حال با چسبندگي خوب فراهم كنند. دستگاههاي كندوپاش مگنتروني برخلاف كندوپاشهاي DC و RF ساده كه ، پلاسماهاي گسترده در فضا اتاقك خلاء دارند، يك پلاسماي محبوس به سطح هدف دارند از اين رو فشار كاري پايينتري نسبت به دو نوع ذكر شده ، دارند و به همين علت داراي آهنگ نهشت بالاتري هستند. با كندوپاش پلاسمايي مگنتروني RF قادر هستيم تمامي مواد را به صورت لايه نازك تهيه كنيم در حالي كه كندوپاش مگنتروني DC تنها مختص مواد رسانا از لحاظ الكتريكي ايت . در كندوپاش مگنتروني بحث آلودگي كه براي ساختار فيلم مضر است به بهترين نحو كمينه مي گردد و قطعات با كارايي بالايي مي توان تهيه نمود...
