عنوان :
بررسي اثر بازپخت حرارتي برروي خصوصيات ساختاري و مكانيكي اليه‌هاي نازك TIO2 تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني واكنشي
پديدآورندگان :
بيدادي حسن نويسنده , مهدي‌زاده اكرم نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
لايه‌هاي نازك دي‌اكسيدتيتانيوم , خصوصيات ساختاري , روش كندوپاش مگنتروني واكنشي
چكيده :
مفيد بودن خصوصيات اليه‌هاي نازك و جالب توجه بودن مطالعه برروي رفتارهاي جامدهاي دو بعدي باعث شده كه چه از نظر عملي و چه از نظر تكنولوژي به اليه‌هاي نازك توجه ويژه‌اي مبذول شود. امروزه اليه‌هاي نازك در ساخت وسايل نوري الكترونيكي الكترواپتيكي آينه‌هاي ليزر قطعات آكوستيكي و پوشش‌هاي محافظتي نقش اساسي دارند....
