Title :
Precursors for Copper Chemical Vapor Deposition
Author :
Paul Russo استاد مشاور , Andrew Maverick استاد راهنما , George Stanley استاد مشاور , Isiah Warner استاد مشاور
University :
Lovisiana State University
Major :
Doctor of Philosophy )Ph.D.( )Chemistry(
Keyword :
copper)I( amides , copper)I( tetramers , copper)II( precursors , CVD , copper)I( precursors
