Author :
Pratul K. Ajmera استاد راهنما , John M. Tyler استاد مشاور , Jeong-Bong Lee استاد مشاور , Jagannathan Ramanujam استاد مشاور
Keyword :
dome-shaped inductor , Micromachining , photoresist mound , photoresist mesa , photoresist dome , Inductor , RF , MEMS , on-chip , arch-like inductor , high frequency