Title :
PIEZO-ON-SILICON MICROELECTROMECHANICAL RESONATORS
Author :
Allen Mark H. استاد مشاور , Brand Oliver استاد مشاور , Ayazi Farrokh استاد راهنما
University :
Georgia Institute Of Technology
Major :
Master of Science
Keyword :
Zinc oxide , piezoelectric resonator , MEMS , length extensional mode
