Experimental and Computational Studies of Carbon Sputtering with Application to Deposition of Tetrahedrally Bonded Amorphous Carbon Films
Author :
Ronald O. Scattergood استاد مشاور , Jerome J. Cuomo استاد راهنما , Donald W. Brenner استاد مشاور , Gary L. Doll استاد مشاور , Mohamed A. Bourham Minor Rep. استاد مشاور