• شماره ركورد
    13286
  • عنوان

    طراحي و نصب قطعات اندازه گيري ضخامت و ضريب شكست لايه هاي نازك

  • محل نشر
    سيستان و بلوچستان
  • ناشر
    دانشگاه سيستان و بلوچستان ، معاونت پژوهشي
  • تاريخ
    1380
  • تعداد صفحه
    0
  • كليدواژه

    طراحي , نصب قطعات اندازه گيري ضخامت , ضريب شكست لايه هاي نازك

  • چكيده
    طراحي و نصب قطعات اندازه گيري ضخامت و ضريب شكست لايه هاي نازك به طور همزمان و تحقيق درباره وابستگي ضريب شكست لايه به ضخامت لايه ضخامت ، ضريب شكست و آهنگ لايه نشاني ، از مهمترين پارامترهاي لايه هاي نازك ، به شمار مي رود، از طرفي خواص نوري -مكانيكي ، الكترونيكي و... لايه هاي نازك به عواملي از جمله ، شرايط لايه نشاني ، آهنگ لايه نشاني و... بستگي دارد و با خواص ماده لايه نشاني متفاوت است . بنابراين اندازه گيري ضخامت و خواص لايه براي كنترل خواص لايه بسيار مهم و تعيين كننده است ...