شماره ركورد :
9122
عنوان :
ساخت و بررسي لايه نازك كربن شبه الماسي
محل نشر :
تهران
ناشر :
دانشگاه صنعتي شريف ، معاونت پژوهشي ، دانشكده فيزيك
تاريخ :
1376
تعداد صفحه :
0
كليدواژه :
ساخت لايه نازك كربن شبه الماسي , پلاسماي }DC{ , گاز مايع
چكيده :
در اين پژوهش ما ازگاز مايع با استفاده از پلاسماي }DC{ لايه هاي نازك كربن شبه الماسي بر روي زير لايه هاي فلزي مس ، آلومينيوم ، استيل و نيمه هادي سيليكن ساختيم ...
لينک به اين مدرک :
بازگشت