عنوان :
ساخت و بررسي لايه نازك كربن شبه الماسي
ناشر :
دانشگاه صنعتي شريف ، معاونت پژوهشي ، دانشكده فيزيك
كليدواژه :
ساخت لايه نازك كربن شبه الماسي , پلاسماي }DC{ , گاز مايع
چكيده :
در اين پژوهش ما ازگاز مايع با استفاده از پلاسماي }DC{ لايه هاي نازك كربن شبه الماسي بر روي زير لايه هاي فلزي مس ، آلومينيوم ، استيل و نيمه هادي سيليكن ساختيم ...