9506

متاليزاسيون مس در صنعت ميكروالكترونيك : ساخت و مشخصه يابي لايه هاي نازك سيستم هاي Cu/Si 111 و Cu/Si 001

تهران

دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك

1375

0

مشخصه يابي , لايه هاي نازك , }Cu/)111({ , مس , متاليزاسيون , سيستم }Cu/Si)001({ , صنعت ميكروالكترونيك

در اين مقاله ساخت لايه هاي نازك }Cu{ بر روي زيرلايه هاي }Si)111({ و }Si)001({ به روش لايه نشاني اسپاترنيگ جريان مستقيم }DC{ مورد مطالعه قرار مي گيرد ... همچنين از اندازه گيري هاي مقاومت سطحي سيستم هاي }Cu/Si)111({ و }Cu/Si)001({ مشخص شد كه با افزايش ضخامت لايه ، مقاومت سطحي آنها كاهش يافته است