شماره ركورد :
9509
عنوان :
ساخت و مطالعه لايه نازك حفاظتي بر روي مس فاز اول
محل نشر :
تهران
ناشر :
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
تاريخ :
1375
تعداد صفحه :
0
كليدواژه :
لايه نازك حفاظتي , مس
چكيده :
... هدف از طرح استفاده از روش غيرفعال سازي }Self-aligned{ با استفاده فلزات قابل تبخير مثل واناديم بعنوان لايه واسط بين مس و زير لايه }Si{ و يا شيشه ميباشد...
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=18&DC=9509
