شماره ركورد

44875

شماره مدرك

4394237

نويسنده/تنالگان

Markku Tilli

عنوان

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

اطلاعات نشر

Elsevier

سال نشر

2015

شابك

9780323312233 ; 9780323299657