تحليل ژيروسكوپ ارتعاشي شانه ايي MEMS داراي هشت تيرك حسگر داخلي مجزا

در این مقاله نتایج تحلیل و شبیه سازی در مورد مدهای تحریك و آشكار سازی و جفت شدگی در یك ژیروسكوپ ارتعاشی شانه ای MEMS با هشت تیرك حسگر داخلی مجزا ارائه شده است. شبیه سازی و تحلیلی، برای سه وضعیت متفاوت صورت گرفته است. برای شبیه سازی از نرم افزار COVentor Ware، و برای حل تحلیلی معادلات حركت، از شبیه ساز Simulink نرم افزار Matlab استفاده شده است. نتایج بدست آمده بیانگر آن است كه جابجایی بین مد های تحریك y و آشكار سازی Z، برای وضعیت 0 2 و 0 = k به اندازه ایی از مرتبه ۱۰ كاهش یافته است و به تبع آن جفت شدگی كاهش یافته است.