بازتاب سنجي پرتو X بر مبناي تبديل فوريه و تبديل موجك

the x-ray Reflectometry Based on Fourier transform and wavelet transform

بازتاب سنجی پرتوx به ما امكان تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه های نازك را می دهد. تعیین ضخامت لایه های نازك به روش های مختلف بازتابندگی پرتو X (مانند روش تطبیق منحنی، تبدیل فوریه، تبدیل موجك، (... صورت می گیرد. روش های تبدیل فوریه و تبدیل موجك نیاز به شبیه سازی و تطبیق منحنی را برطرف می كند. تطبیق منحنی دقت بالاتری دارد اما بسیار وقت گیر است در صورتی كه روش های تبدیل فوریه و تبدیل موجك سریع تر و ساده تر می باشد مزیت دیگر این روش ها این است كه می توان این روش ها را در تحلیل لایه های نازك بدون نیاز به اطلاعات در مورد خواص شیمیایی و فیزیكی آنها به كار برد و می تواند در تعیین مشخصه های لایه های تركیبی و به ویژه لایه های اكسیدی مفید واقع شود.

X-ray reflectometry allows the determination of the thickness, density roughness of thin films. The determination of thin film thickness has been done by some X-ray reflectivity methods (for example, the curve-fitting methods, the Fourier transform, wavelet transform …). The Fourier transform and wavelet transform are a useful technique that eliminates the need for x-ray reflectivity simulations. The curve-fitting method had the highest accuracy but was time-consuming, Whereas Fourier transform, and wavelet transform are considerably simple, quick and feasible. The advantage of this methods are that it can be applied to the analysis of a multilayer with unknown chemical and physical properties It is useful in the characterization of structures with a complex composition, particularly oxide or diffuse layers.