شماره ركورد كنفرانس :
1530
عنوان مقاله :
مطالعه ناهمواري هاي سطحي لايه هاي نازك مس الكتروانباشت شده
پديدآورندگان :
هدايتي كامبيز نويسنده , حسين آباد طاوس نويسنده
كليدواژه :
لايه هاي نازك مس , ناهمواري هاي سطحي , ميكروسكوپ نيروي اتمي , ميكروسكوپ الكتروني
عنوان كنفرانس :
دومين همايش ملي مهندسي مواد
چكيده فارسي :
در این پژوهش لایه های نازك مس بر روی زیر لایه طلا انباشت داده می شود. در این مقاله اثر چگالی جریان انباشت وضخامت بر روی ناهمواری های سطحی لایه های نازك مس بررسی می شود. با بررسی ناهمواری های سطحی لایه ها به وسیلهمیكروسكوپ نیروی اتمی و ناهمواری های سطحی برحسب طول اسكن، نوع و چگونگی ناهمواری های سطحی مشخص گردید.همچنین از میكروسكوپ الكترونی روبشی برای بررسی مورفولوژی سطح لایه ها استفاده و برای بررسی چگونگی ساختار لایهها از پراش اشعه ایكس استفاده شد.
شماره مدرك كنفرانس :
4475088
