لايه نشاني و مطالعه اثر ناخالصي Al و بازپخت لايه ها در خواص ساختاري و اپتيكي لايه نازك TiO2 به روش اسپري پايروليزيز

Deposition and investigation of Al doped effect on structural and optical properties of TiO2 thin films with spray pyrolysis techniques

در اين كار پژوهشي محلولي از ناخالصي Al و اكسيد TiO2 با نسبتهاي مولي مختلف Al/Ti تهيه شده و سپس به روش اسپري پايروليزيز لايه نشاني مي شود. در مرحله بعدي لايه ها به مدت 1،5 ساعت در كوره بازپخت شدند. خواص ساختاري لايه ها توسط دستگاه آناليز پراش اشعه x(XRD) و خواص اپتيكي لايه ها قبل و بعد از باز پخت توسط طيف سنج UV-VIS مطالعه شده است.

with different Al/Ti molar ratios, were In this paper a solution was made by inserting doped Al in TiO prepared by using spray pyrolysis method. The Structural and optical characteristics of these thin films were investigated before and after annealing by XRD