شماره ركورد كنفرانس :
3232
عنوان مقاله :
شبيه سازي سيالي دو بعدي توليد نانوقله هاي رسانا با استفاده از پلاسما
عنوان به زبان ديگر :
Two-dimensional fluid simulation of plasma-aided fabrication of conductive carbon nanotips
پديدآورندگان :
مهدي پور حميد دانشگاه صنعتي سهند تبريز - دانشكده علوم پايه - گروه فيزيك , فروتن غلامرضا دانشگاه صنعتي سهند تبريز - دانشكده علوم پايه - گروه فيزيك
كليدواژه :
شبيه سازي , پلاسما , نانوساختارها , نانوقله ها
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران ۱۳۸۸
چكيده فارسي :
استفاده از پلاسما در رشد نانوساختارها نتايج بهتر و قابل رقابتي در مقايسه با ديگر روش ها بدست مي دهد. اخيراً فرآيند رشد نانوساختارهاي كربني، درپلاسماهاي كم فشار (غير برخوردي) ، به روش شبيه سازي كامپيوتري مورد مطالعه قرار گرفته است. در اين كار رشد نانوقله ها در محيط پلاسمايي در حضور برخوردها، يونيزاسيون، و با در نظر گرفتن اثر ذرات غبار باردار بر روي ساختار غلاف پلاسمايي به روش شبيه سازي عددي معادلات سيالي متناظر مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج بدست آمده نشان مي دهند كه صرفنظر از رفتار غير خطي ذرات غبار با افزايش اندازه ولتاژ زيرلايه و دوره تناوب ماكروطرح و همچنين افزايش فشار، شار فرودي به نانوساختار افزايش مي يابد
چكيده لاتين :
Plasma nanofabrication provides much better and more competitive results in comparison with the other
methods. Recently, the process of fabrication of carbon-nanostructures in low pressure (collisionless) plasmas
has been studied extensively using computer simulations. In this work the growth of carbon nanotips has been
investigated in a plasma via numerical simulation of the corresponding fluid equations in the presence of
collisions and ionization. The results obtained show that, except for the nonlinear behavior of the dust particles,
the arrival flux on the microstructure surface increases with increasing the substrate potential, micropattern
period, and the pressure of the gas.