ساخت و آناليز لايه هاي نازك YBa2Cu3O7- δ با روش افشانه ي داغ

Synthesis and analysis of YBCO thin films by spray pyrolysis technique

ساخت لايه هاي نازك (YBa2Cu3O7- δ (YBCO بر روي زيرلايه هاي تك بلوري SrTiO3 چند بلوري نقره با روش افشانه ي داغ انجام شده است. پراش اشعه ي X در هر مرحله از رشد لايه ها، حضور فازهاي بلوري از نيتراتها و اكسيدها و فاز اورتورومبيك YBCO را نشان مي دهد اين آناليز نشان مي دهد لايه YBCO بر روي زيرلايه SrTiO3 بيشتر در جهت c رشد كرده است. آناليزهاي AFM و SEM حاكي از اندازه دانه هاي 2 ميكرومتر و كمتر هستند.

The preparation of YBa2Cu3O7-δ thin films on (100) SrTiO3 single crystal and polycrystalline Ag using spray pyrolysis method was performed. XRD analysis of the films after each preparation step shows primarily the presence of crystalline phases of the nitrates, the oxides and the orthorhombic phase. The XRD pattern suggests that the film on SrTiO3 substrate is more oriented with c axis. AFM and SEM analysis show the 2μm and less grain sizes.