ساخت نانو ساختارهاي امپدانس بالا با استفاده از رشد عمودي و خميده نانولوله هاي كربني

Fabricating high impedance nanostructures using vertical and bent grown carbon nanotubes

نانو لوله هاي كربني عمودي و خم شده روي زير لايه سيليكوني درحضور كاتاليست نيكل بااستفاده از روش لايه نشاني بخار شيميايي به كمك پلاسما رشد داده شده است. جهت ساخت سطوح با امپدانس سطحي بالا كه موج الكترو مغناطيسي را با اختلاف فاز صفر در ميدان الكتريكي منعكس مي كند، يك لايه طلا روي نانولوله هاي عمودي لايه نشاني شد و بدين ترتيب ساختار قارچ گونه اي در ابعاد نانومتر به دست آمد. از تداخل سنجي هموداين جهت بررسي رفتار اپتيكي اين نانو ساختار استفاده و تغيير فاز موج بازتابي نسبت به موج فرودي اندازه گيري شد. ازميكروسكوپ الكتروني روبشي و ميكروسكوپ نيروي اتمي براي آناليزاين نانوساختارها استفاده شده است.

In this study, vertical and bent carbon nanotubes were grown on silicon substrate using catalyst-based plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method. For fabricating high impedance surface which reflects the electromagnetic wave with zero phase change in electric field, the as-grown vertical nanotubes were coated with a reflective gold layer, and hence, mushroom-like nanostructures were obtained. Homodyne interfrometry was used for testing the optical behavior of these nanostructures and the phase change of the reflected optical wave with respect to the incident one was measured. Scanning electron microscopy and atomic force microscopy were used for analyzing these nanostructures