مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - طراحی سنسور شتاب خازنی سه جهته با ساختار جدید و دقت بالا

شماره ركورد كنفرانس :

3446

عنوان مقاله :

طراحی سنسور شتاب خازنی سه جهته با ساختار جدید و دقت بالا

پديدآورندگان :

هادی قاسم زاده مومن , ابراهیم عباسپور ثانی

كليدواژه :

3-axis capacitive accelerometer , MEMS sensor , free cross axis sensitivity , comb electrode

كشور :

ايران

نويسنده :

هادی توكلی

كلمات كليدي :

3-axis capacitive accelerometer, MEMS sensor, free cross axis sensitivity, comb electrode

لينک به اين مدرک :