طراحی سنسور شتاب خازنی سه جهته با ساختار جدید و دقت بالا

پديدآورندگان

هادی قاسم زاده مومن , ابراهیم عباسپور ثانی

كليدواژه

3-axis capacitive accelerometer , MEMS sensor , free cross axis sensitivity , comb electrode

كشور

ايران

نويسنده

هادی توكلی

كلمات كليدي

3-axis capacitive accelerometer, MEMS sensor, free cross axis sensitivity, comb electrode

لينک به اين مدرک