برازش طيف هاي فتو گسيلي فيلم هاي نازك اكسيدي با روش FitXPS

The Photoemission Spectra of Ultra Thin Oxide Film Fitting with FitXPS Method.

تعدادي از پژوهشگران در تجزيه و تحليل طيف هاي فتوگسيلي XPS و تابش سينكروتروني از مدل سه پله اي برگلند و اسپايسر استفاده مي كنند كه در اين مدل تغيير انرژي مربوط به پهن شدگي لورنتسي و گاوسي در تابع توزيع انرژي لحاظ نشده است. در اينجا با اعمال اين دو فاكتور پهن شدگي، روش بهتر FitXPS را در برازش طيف هاي فتوگسيلي بكار برديم . نتايج به دست آمده نشان مي دهند كه در اين حالت مي توان قله هاي ديگر سيليكون و اتم هاي اكسيژن را با توجه به جهت اسپين ها از يكديگر تفكيك نمود.

Some researchers have studied the structure of XPS and synchrotron radiation spectra of ultra thin film with using Berglund and Spicer model. This method can not fit these film spectra due to neglecting LWHF(Lorentz Full Width at Half Maximum ) and GWHF( Gauss Full Width at Half Maximum) in the energy distribution function and the spectra have not thus fitted very good. In this work, both LWHF and GWHF are included in a method, called FitXPS method and the obtained results show the spectra Si and O peaks due to their spin orientations.