الكتروانباشت نانو ذرات نيكل و رشد نانو لوله هاي كربني به روش CVD روي آنها

Growth of carbon nanotubes in presence of electrodeposited nickel nanoparticles using CVD method

در اين تحقيق، نانولوله هاي كربني به روش انباشت بخار شيميايي با استفاده از نانو كاتاليست الكتروانباشت شده نيكل توليد شده است. نانوذرات نيكل در محلول سولفات نيكل در حضور اسيد بوريك بر روي زيرلايه سيليسيم، به روش الكتروانباشت توليد شده اند. ميانگين قطر نانوذرات توليد شده حدود 80nm ميانگين قطر نانولوله هاي كربني توليد شده حدود 90nm است كه با ابعاد نانوكاتاليست هاي به كار رفته هماهنگ مي باشد. ريخت شناسي و تركيب شيميايي نمونه ها با استفاده از دستگاه ميكروسكپ الكتروني روبشي (SEM) و آناليز EDX مورد مطالعه قرار گرفته است.

In this research, carbon nanotubes were grown by chemical vapor deposition method using nickel catalyst. Nickel nanocataltst were electrodeposited in a bath of NiSO4, and in the presence of H3BO3 on Si substrate. The average diameter of the particles was measured 80nm and the average diameter of the grown carbon nanotubes was determined 90nm which is consistant with the nanoparticle dimensions. Morphology and chemical composition of the samples have been studied using Scanning Electron Microscope (SEM) and EDX analysis.