بررسي نانو ساختار لايه هاي نازك تيتانيوم دي اكسايد ساخته شده به روي زيرلايه استيل به روش بازپخت در دماهاي متفاوت

Investigation of nano-structure of titanium dioxide thin layers produced by annealing on ss substrate in different temperatures

لايه هاي نازك تيتانيوم به روي زير لايه استنليس استيل به روش تفنگ الكتروني تهيه شده و سپس با استفاده از كوره بازپخت و حضور شار اكسيژن در دماهاي مختلف اكسيد تيتانيوم تهيه شد .ضخامت لايه ها توسط روش، RBS اندازه گيري شد . در نهايت با استفاده از روش هاي آناليز، AFM (براي بررسي توپوگرافي سطح و چگونگي اكسيد شدن لايه ها) و XRD (براي تعيين فازها و تركيبات مختلف ساختاري مانند فاز آناتاس و روتايل و يا تركيبي از آنها) بررسي كيفي و كمي لايه ها مورد مطالعه قرار گرفت.

Titanium thin layers produced on stanless steel substrate with electron gun method and by using annealing method in addition of oxygen flow in different temperatures TiO2 thin layers produced. Their nano structures were analysied by different AFM and XRD methods.