اثر آهنگ انباشت بر مورفولوژي سطوح مس

The effects of coating rates on the morphology of the copper surfaces

در اين مقاله به بررسي تاثير آهنگ انباشت بر مورفولوژي سطوح مي پردازيم. براي اين منظور با ثابت نگه داشتن جنس سطح و تغيير فشار گازآرگون به بررسي تاثير آهنگ انباشت در لايه نشاني مس روي شيشه پرداخته و با بكار گيري روش استاندارد فركتالي، خواص آماري سطح مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج، چگونگي تاثير آهنگ انباشت، در زبري و ساير خواص آماري سطح را نشان مي دهد

In this paper, we investigate the effect of the coating rate on the morphology of the surface. In order to find the answer, we consider the effect of the coating rate on the copper thin films with glass substrate by changing the pressure of the Argon gas. Then, we find the statistical properties of the surfaces by using the standard fractal analysis. Our results show that how coating rate has effects on the roughness and other statistical properties.