اندازه گيري پارامترهاي سيستم چند لايه با سطوح كروي با استفاده از تداخل سنجي با نور كوتاه همدوس

Measurement the parameters of a multi layer system with spherical surfaces using low-coherence interferometry

در اين مقاله بر اساس تداخل سنجي با نور كوتاه همدوس، روشي جهت اندازه گيري پارامترهاي سيستم چند لايه با سطوح كروي ارائه ميشوند . اين پارامترها شامل شعاع انحناي سطوح، صخامت و ضريب شكست لايه ها هستند . در يك بازوي تداخل سنج مايكلسون با منبع نور كوتاه همدوس، باريكه كروي حاصل از يك عدسي محدب به نمونه تابيده ميشود . با جابجا كردن نمونه نسبت به عدسي مكاني كه باريكه بر هر سطح ميتابد و بر ميگردد اندازه گيري ميشود . همزمان با جابجا كردن بازوي ديگر تداخل سنج مكاني كه فريز تداخلي تشكيل ميشود مشخص ميگردد . بدينوسيله اختلاف راه نوري باريكه هاي انعكاسي پيرامحوري از سطوح اندازه گيري ميشود . اين اندازه گيري ها معادله هاي لازم را براي محاسبه پارامترهاي هر لايه را ايجاد ميكنند . آزمايش بر روي يك عدسي دوتائي صورت گرفته است . نتايح دقت نسبي %0,1 در محاسبه پارامترهاي مذكور را، با توجه به امكانات موجود، نشان ميدهد .

In this article a method for measurement the parameters of a multi layer with spherical surfaces, using low coherence interferometry is presented. The parameters are radii of curvatures of surfaces, thickness and refractive index of layers. In one arm of Michelson interferometer with low coherent source, the spherical wave front due to a concave lens is shining the sample. The position in which, the wave front is perpendicular to surfaces and reflected back is measured. In the same time, the other arm of interferometer is translated and position of creation of interference pattern is specified. Therefore, the axial optical path differences of reflected waves are measured. The relation for calculation the parameter of each layer is created by such measurements. The experiment is done for a doublet lens. The results show 0.1% accuracy in measurements, using available tools