حسگر گاز لايه نازك اكسيد روي

ZnO Thin Film Gas Sensors

فلز Zn به روش PVD با تبخير حرارتي بر روي زيرآيند هاي شيشه اي نشانده شد . براي دستيابي به لايه اكسيد روي، لايه هاي حاصل به مدت 3 ساعت در دماهـ اي 500 و 600 درجه سانتيگراد در كوره اكسيد شده سپس به عنوان حسگر گاز مور د استفاده قرار گرفت . تغيير رسانش الكتريكي لايه هاي نمونه در اثر افـزايش دمـا بررسـي شد . همچنين لايه هاي ZnO حاصل به عنوان حسگر اتانول مورد بررسي قرار گرفت . دماي بهينه كار حسگر حدود 270 ° C به دست آمد . تغييرات حساسيت نسبت بـه تراكم اتانول نيز بررسي و مشاهده شد كه حسگر اكسيد شده در 500 °C نسبت به اتانول تا حدود 15000 ppm حالت اشباع نشان نمي دهد .

Zinc thin films were deposited on soda lime glass substrates using thermal evaporation PVD method. Oxidations of the metal films were carried out by annealing at 500 and 600°C for 3 hours in air. The conductivity of the samples was then tested utilizing two ohmic contacts at different temperatures. The sensitivity of these resistive gas sensors to ethanol vapor was measured at different temperatures to find out the optimum working temperature. This was found to be 270 °C, and at this operating temperature the sensors annealed at 500°C did not saturate up to 15000 ppm of ethanol gas concentration