ساخت و مشخصه يابي لايه نازك نانو ذرات اكسيد روي به روش لايه نشاني چرخشي

Fabrication and characterization of thin film of Zinc oxide nanoparticles with spin coating method

در اين پژوهش، خصوصيات نوري و ساختاري لايه هاي نازك اكسيد روي مطالعه شده است. نانو ذرات اكسيد روي به روش سل-ژل تهيه و بر روي زيرلايه هاي شيشه اي به روش چرخشي لايه نشاني شده اند. باز پخت نمونه ها در سه دماي مختلف انجام گرديد. مطالعه خواص ساختاري با طرح پراش پرتو ايكس انجام شده است. ويژگي هاي نوري لايه ها با استفاده از طيف سنجي UV - Visible بررسي شده است. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش دماي باز پخت اندازه بلوركها افزايش يافته و گاف انرژي نيمه هادي كاهش مي يابد. تصاوير ميكروسكوپ الكتروني نشان مي دهد كه با افزايش دماي بازيخت، ميانگين اندازه دانه ها از 26nm به 66nm افزايش مي يابد.

In this work, optical and structural properties of ZnO thin films have been studied. ZnO nanoparticles were synthesized by the sol-gel method and then were deposited on glass substrates using spin coating method. The samples were annealed at different temperatures. To study, structural properties of the films, XRD pattern was used. Optical properties of the thin films were investigated by the UV-Visible spectroscopy. Results show that increasing the annealing temperature causes to increasing of the crystallite size and decreasing of the semiconductor energy band gap. Scanning Electron Microscopy (SEM) images showed that the average grain size increases from 26 nm to 66 nm with increment of the annealing temperature