بازتابش اشعه ايكس و مطالعه چگالي الكتروني لايه هاي نازك

X-Ray Reflectivity and Study of Electron Density of Thin Films

روش بازتابش اشعه ايكس XRR با زاويه نور خراشان براي تعيين چگالي الكتروني برحسب عمق فيلم بكار مي رود. كاربرد اين روش براي تعيين ويژگي چگالي الكتروني لايه هاي نازك و بين سطوح لايه ها در چند سال اخير بطور چمشگيري افزايش يافته است.حال آن كه در روشهاي ساده مستقل از مدل، معكوس كردن ويژگيهاي بازتابش براي بدست آوردن ويژگي چگالي ديگر كاربردي ندارد. در اينجا يك چنين رهيافتي با استفاده از روش بازتابندگي غيرعادي از زيرلايه نشان داده مي شود.

A grazing incidence x-ray reflectivity technique is used to determine electron density profile (EDP) as a function of depth in the thin films. This methodto determine the density profile across and interface or across thin films has become increasingly popular over the last few years. However, in general the use of convenient model-independent methods of inverting the reflectivity profiles to obtain the density profile isuncommon now a day. This approach would be presented here using the method of anomalous reflectivity from the substrate