بررسي اثر فضاي بسته ي چرخان در مسير شار بخار سيستم لايه نشاني روي خواص ساختاري لايه نازك تلوريد كادميم

Investigation on the effect of rotating closed-space in vapor flow path in thin film deposition system on structural properties of CdTe thin film

لايه هاي نازك تلوريد كادميم با استفاده از روش تبخير حرارتي با نرخ لايه نشاني A/s 10 و ضخامت تقريبي 350nm در فشار6 - 10 تور ساخته شدند. در اين پژوهش، اثر فضاي بسته مي چرخان تعبيه شده بر سر راه بخار تلوريد كادميم روي خواص ساختاري نمونه ها مورد مطالعه قرار ميگيرد. خواص ساختاري با استفاده از تحليل پراش اشعه ايكس (XRD) و مورفولوژي سطح نيز با ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميدان (FESEM ) مورد بررسي قرار گرفت. مطالعات ساختاري آشكار نمود كه حضور فضاي بسته چرخان تاثير چشمگيري بر روي استوكيومتري، ثابت شبكه و اندازه دانه نمونه ها دارد.

CdTe thin films were deposited by vacuum evaporation method with deposition rate of 10 Å/s and approximate thickness of 350 nm at pressure of 10-6 Torr. The effect of an evaporation controlling device, which consists of a rotating closed space, on structural properties of CdTe thin films has been investigated in this study. The structural properties were investigated by X-ray diffraction (XRD) analysis and surface morphology was studied by field emission scanning electron microscopy (FESEM). The structural studies revealed that employing the closed space device had significant effect on stoiciometry, lattice constant and grain size of the specimens