مطالعه تجربي ايجاد نانو ساختارها بر روي سطح سيليكون زبر با استفاده از پرتو ليزر پالسي نانو ثانيه در محيط آب

Study of nano structure on silicon surface induced by nanosecond pulsed laser beam in water

دراين مقاله نانو ساختارهاي توليد شده روي سطح سيليكون زبر با استفاده از ليزر پالسي Nd:YAG بررسي شده است. تابش دهي در محيط آب مقطر صورت گرفته و نواحي تابش دهي شده با استفاده از ميكروسكوپ اپتيكي و ميكروسكوپ روبشي الكتروني (SEM) بررسي شده است. نتايج نشان مي دهند خوشه هاي نانو ساختار در نواحي تابش شده شكل مي گيرند كه تعداد پالس ، و شار انرژي ليزر بر چگالي سطحي و اندازه خوشه هاي نانويي شكل گرفته بر روي سطح تأثير مي گذارد.

In this paper nano structures on the surface of rough silicon wafer induced by Nd:YAG pulsed laser beam in distilled water studied. The nano structure was inspected using scanning electron microscope (SEM). The result show that the number of laser pulses and energy fluence can influence the cluster sizes and surface density