تخمين ضخامت لايه نازك آلومينيوم با استفاده از شبيه سازي مونت كارلو

Al Thin Film Thickness Measurement by Using Monte Carlo Simulation

در اين مقاله با استفاده از روش مونت كارلو ضخامت لايه نازك آلومينيوم تخمين زده شده است. به همين منظور باريكه ورودي الكترون با گستره انرژي keV10 - 30 را به لايه نازك آلومينيومي با ضخامت um 14- 6 متمركز مي كنيم. نتايج بدست آمده نشان مي دهد با بمباران نمونه ها بوسيله باريكه الكتروني برابر، كسر الكترونهاي عبوري در نمونه um14 حدود 9 برابر بيش از نمونه μm 6 مي باشد. همچنين نشان داده شده كه منحني تغييرات بيشينه كسر الكترونهاي عبوري نسبت به ضخامت لايه، سهمي وار بوده و با استفاده از رابطه بدست آمده مي توان ضخامت لايه ي نامشخص را بدست آورد.

This paper indicates a Monte Carlo simulation analysis for estimating the thin film thickness measurements. In order to calculate the Al thickness estimation, the energy of the incident electron beams was varied from 10-30 keV, while the thickness of the Al film was varied between 6-14 μm. From the simulation results it was found that electron transmittance fraction in 14 μm sample is about nine orders of magnitude more than 6 μm sample at the same incident electron beam energy. Simulation results show that maximum transmitted electrons versus Al layer thickness has a parabolic relation and by using the obtained equation, it is possible to estimate unknown thickness of the Al layer