سنتز و بررسي ساختار نانو لايه هاي اكسيد تنگستن جهت كاربرد در حسگر گازي LPG

Synthesizing and Characterizing of WO3 Nanolayer for LPG Sensors Application

ويژگي هاي حسگري نانو لايه هاي اكسيد تنگستن به منظور استفاده به عنوان حسگر گاز LPG مورد بررسي قرار گرفت. لايه ها به روش سل ژل ساخته شده و خصوصيات فيزيكي آن بوسيله طيف سنج هاي رامان، پراش پرتو ايكس، ميكروسكوپ الكتروني گسيل ميداني و طيف تبديل فوريه فروسرخ مورد بررسي قرار گرفت. ميانگين اندازه ذرات با توجه به تصاوير ميكروسكوپ الكتروني حدود 78 نانومتر بدست آمد. با توجه به اينكه حساسيت حسگر به عنوان نسبت مقاومت لايه در هوا به مقاومت لايه در حضور گاز نمونه تعريف مي شود، نمونه اكسيد، تنگستن ساخته شده حساسيت قابل قبولي را نشان مي دهد.

The gas-sensing characteristics of WO3 thin films have been investigated as LPG gas-sensor. Nano-layers of WO3 have been prepared via sol-gel method. Physical properties of WO3 thin films layers were characterized by Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy, X-ray diffraction (XRD), Raman spectroscopy and Field Emission- Scanning electron microscopy (FE-SEM).The SEM images showed that the average size of the particles is about 78nm . Many gas-sensors operate by detecting electrical properties of the sensing-film material in the presence of the test gas. The sensitivity was calculated which is defined as the sensor's resistance ratio in the air to that in the sample gas air gas S R R . The performance of the WO3 LPG gas- sensor can be considered like other sensor