اثر توان RF بر مشخصات تخليه الكتريكي پلاسماي آرگون

Effect of RF power on the electrical discharge of argon plasma

در اين كار تجربي از پروب لانگمور براي اندازه گيري دماي الكترون، چگالي الكترون و پتانسيل شناور پلاسما در دستگاه پلاسما RF استفاده شد. پلاسما در ظرفي شيشه اي در فشار پايين توسط يك منبع تغذيه RF با فركانس 13/56MHz به روش كوپلينگ خازني توليد شد. سپس با استفاده از يك تك پروب لانگمور پارامتر هاي پلاسما نظير دانسيته الكتروني، دماي الكتروني و پتانسيل شناور در توان هاي مختلف RF اندازه گيري شد. نتايج بدست آمده نشان مي دهد كه با افزايش توان RF دماي الكتروني پلاسما افزايش مي يابد. همچنين پتانسيل شناور پلاسما با افزايش توان RF افزايش مي يابد. نتايج بدست آمده در تطابق خوبي با پيش بيني هاي نظري مي باشد .

In this experimental study a single Langmuir probe was employed to measure the RF plasma parameters such as plasma electron density, plasma electron temperature, plasma floating potential and plasma ion saturating current. Plasma was generated in a glass tube using 13.56 MHz, RF power supply which was capacitivly coupled to plasma reactor at low pressure .Results show that with increasing the RF power the plasma electron temperature is increased. Floating potential of plasma is also increased with increasing the RF power