رشد نانو لوله هاي كربني عمودي بر روي بستر ريزماشينكاري شده و كاربرد آن در ساخت حسگر فشار بر اساس گسيل ميداني الكترون

Growth of vertically aligned carbon nanotubes on micromachined substrate and its application in pressure sensor fabrication based on field emission

نانو لوله هاي كربني به صورت عمودي به روش PECVD روي زير لايه سيليسيومي ريز ماشينكاري شده رشد داده شده اند و از نانو لوله ها به عنوان كاتد سرد در ساخت حسگر فشار استفاده شده است. اين حسگر از غشاء سيليكني انعطاف پذيري كه به كمك زدايش زيرلايه به دست آمده به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالي استفاده مي كند. بدين ترتيب غشاء با تغيير فشار ورودي خم مي شود و با تغيير فاصله آند- كاتد جريان گسيلي تغيير مي كند. رشد نانولوله ها در الگوهاي ريز ماشينكاري شده با استفاده از دستگاه SEM بررسي شده است.

Vertically aligned carbon nanotubes are grown on micromachined silicon substrate using PECVD method. Nanotubes are used as the cold-cathode emitter in fabrication of a pressure sensor. This sensor uses a flexible silicon membrane which is fabricated by substrate etching as a deflectable anode against the applied pressure. The membrane deflects with the input pressure and as the cathode- anode distance is changed, the emission current changes. The growth of nanotubes in the micromachined patterns is investigated using SEM tool