تاثير باز پخت بر دانه بندي و رسانايي الكتريكي نانو ذرات نيكل در بستر DLC

Effect of annealing on the morphology and electrical conductivity of Ni/DLC

نانو ذرات نيكل در بستر لايه ي نازك كربن شبه الماسي به روش انباشت شيميايي بخار به وسيله ي پلاسماي امواج راديويي و پراكنش امواج راديويي ساخته شدند. براي بررسي اثر باز پخت بر روي خواص سطحي و الكتريكي اين لايه ها، آنها را در كوره با حضور گاز آرگون حرارت داديم. سپس با استفاده از آناليز ميكروسكوپ نيروي اتمي و طيف سنجي فرابنفش مرئي به مطالعه خواص ساختاري، سطحي و محاسبه ي گاف اپتيكي اين لايه ها قبل و بعد از باز پخت پرداختيم. مشاهده شده در دماي 250°C، سطح كلوخه اي شده و پس از آن دوباره دانه بندي شكل مي گيرد. همچنين با اضافه شدن دماي باز پخت گاف اپتيكي لايه ها كاهش و در نتيجه رسانايي الكتريكي آنها افزايش مي يابد.

We prepared Ni core-shell nanoparticles by Co-deposition of RF-PECVD and RF-Sputtering method and using Ni target and acetylene gas. For study of morphology and electrical properties these layers, we annealed them in oven in present of Ar gas flux. Atomic Force Microscope and UV-Visible analysis used for study of structural and band gap evaluation before and after annealing. The results show that the surface became gregarious in 250°c. Increasing of temperature leads to particles appear again and optical gap decreases