شماره ركورد كنفرانس :
3593
عنوان مقاله :
طراحی و بهینه سازی یك حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تكنولوژی سیستم های میكروالكترومكانیكی(MEMS)
پديدآورندگان :
منصور پيمانی
كليدواژه :
حسگرهای خازنی , آرایش الكترودی شانه خازنی , حساسیت , سیستم های میكروالكترومكانیكی
كشور :
ايران
نويسنده :
محمد عزیزی
كلمات كليدي :
حسگرهای خازنی، آرایش الكترودی شانه خازنی، حساسیت، سیستم های میكروالكترومكانیكی
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=164685
