شماره ركورد كنفرانس :
3736
عنوان مقاله :
بررسي تاثير دماي زير لايه بر تشكيل فاز آناتاز در لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم تهيه شده به روش كند و پاش مغناطيسيDC
پديدآورندگان :
جامعي مريم گروه فيزيك،واحداهواز، دانشگاه آزاد اسلامي،اهواز، ايران , حقيقت زاده آزاده گروه فيزيك،واحداهواز، دانشگاه آزاد اسلامي،اهواز، ايران , مزيناني بابك گروه مهندسي مواد، دانشگاه ملاير،ملاير، ايران
كليدواژه :
دي اكسيد تيتانيوم , لايه نازك , كند و پاش مغناطيسي , TiO2 , thinfilm , magnetron sputtering
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي فيزيك دانشگاه آزاد اسلامي
چكيده فارسي :
لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم با ضخامت 250 تا 500 نانومتر با استفاده از روش كندو پاش مغناطيسيDC روي زير لايه شيشه تهيه شده اند.براي لايه نشاني از هدف فلز تيتانيوم به صورت ورق و گاز تركيبي آرگون و اكسيژن و زيرلايه هايي با دماهاي مختلف استفاده شده است.دستگاه پراش اشعه X (XRD) با توجه به شرايط مختلف لايه نشاني نمونه هاي آمورف و آناتاز را نشان داده است.نمونه هاي با دماي زيرلايه پايين تر ساختار آمورف ونمونه هاي با دماي زير لايه 150 تا 400 درجه سانتي گراد فازكريستالي آناتاز را نشان داده اند. همچنين ارتباط اندازه دانه هاي سطح و زبري سطح با دماي زير لايه مورد ارزيابي قرار گرفته است.
