تحليل فراكتالي ساختارهاي سيليكان نانو متخلخل

مورفولوژي ساختارهاي نانو متخلخل سيليكان ايجاد شده ضمن فرايند حكاكي ناهمگن با رويكرد فراكتالي مورد بررسي قرار مي گيرد. تصاوير حاصل از ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني FESEM ظهور ساختارهاي هرم گونه را ضمن فرايند حكاكي نشان مي دهد. تحليل چند فراكتالي افت و خيز حذف روند شده MFDFA مبتني بر داده هاي حاصل از ميكروسكوپ نيروي اتميAFM نشان مي دهد كه سطوح سيليكان قبل از حكاكي داراي ساختاري منظم و تك فراكتال با نماي هارست هستند. فرايند حكاكي منجر به بي نظمي ساختاري شده و سطوحي با خاصيت چند فراكتالي ايجاد مي شوند كه درجه بي نظمي و شدت چندفراكتالي با زمان افزايش مي يابد. نتايج نشان مي دهند علت افزايش شدت چندفراكتالي در ناهمگن بودن توزيع ساختارهاي هرم گونه و وجود همبستگي هاي متفاوت در ساختار است.